1、在较宽的压力范围内有较大的抽速；
2、转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；
3、泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；
4、泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
5、压缩比较低，对氢气抽气效果差；
6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。