直线性
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Z轴（高度）
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±0.05% of
F.S.=±2.3μm
（±0.01%）
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±0.04% of
F.S.=±3.44μm
（±0.008%）
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±0.025% of
F.S.=±5.5μm
（±0.005%）
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±0.02% of
F.S.=±8.8μm
（±0.004%）
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±0.02% of
F.S.=±16.4μm
（±0.004%）
|
±0.035% of
F.S.=±63.7μm
（±0.007%）
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参考距离：±60mm
±0.025% of
F.S.=±117μm
（±0.005%）
全部区域：
±0.035% of
F.S.=±163.8μm
（±0.007%）
|
Near~参考距离：
±0.03% of
F.S.=±146.4μm
（±0.006%）
全部区域：
±0.006% of
F.S.=±292.8μm
（±0.012%）
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Near~参考距离：
±0.015% of
F.S.=±141.3μm
（±0.003%）
全部区域：
±0.05% of
F.S.=±471μm
（±0.01%）
|
Near~参考距离：
±0.03% of
F.S.=
（±0.004%）
全部区域：
±0.05% of F.S.
（±0.006%）
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