产品概述:
FS4003微型气体流量传感器FS4008气体质量流量传感器产品概述:
FS4000气体质量流量传感器采用世界领先的微机电系统（DMEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量二氧化碳监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）
FS4003气体质量流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围最大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围最大到50SLPM；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等
FS4008产品特点:
-专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计
-支持多种连接方式，易于安装与使用
- 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
- 零点稳定度高
- 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
- 低功耗、低压损
- 响应速度快
产品特点:
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性能参数
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FS4003
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FS4008
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单位
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通 径
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3
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8
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mm
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最大流量
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2, 3,
4, 5
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10, 20,
30, 40, 50
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SLPM
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量程比
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100:1
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精 度
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重复性
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0.75
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%
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零点输出飘移
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±30
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mV
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输出飘移
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0.12
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%/oC
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响应时间
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100
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ms
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工作电源
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8~18Vdc,100mA
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输出方式
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线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc
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最大流量压损
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100
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600
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pa
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最大工作压力
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0.5
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MPa
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工作温度
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-10 ~
+55
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oC
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存储温度
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-20 ~
+65
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oC
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工作湿度
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<95%RH（无结冰、无凝露）
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机械接口
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BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头
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校准方式
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空气（或其他气体），20oC，101.325kPa
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重量
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57（带R1/4,BSPT1/4接口）
71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)
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g
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