真空系统设计的基本原则：
1.真空系统元件互相连接时，要做到管路短、流导大；导管直径一般不小于泵入口直径，特殊情况下例外。
2.机械泵和罗茨泵在工作时会产生振动，需要在人口管道上连接软管减振，还可以装规管检漏。
3.真空系统建成后，应便于检漏。因此在每个封闭区段要设置一个规管座，便于安装规管检漏。
4.并联泵可以提高抽速，串联泵能提高极限真空度。并联的两个泵其极限真空度应当基本上在同一个数量级，如扩散泵与机械泵不能并联。
5.当采用扩散泵或者油增压泵为主泵的抽真空系统时，其主泵的人口高真空阀盖板应盖向主泵的入口，前级管道上的前级阀盖板应盖向主泵的出口，预真空管道上的预真空阀盖板应盖向炉子的出口。
6.采用罗茨泵为主泵的真空系统时，罗茨泵人口管道上的阀门盖板应盖向炉子的出口。在罗茨泵与前级机械泵之间的管道上，可不设置真空阀。
7.在扩散泵与油增压泵的入口管道上的高真空阀门上，一般应设置一个真空继电器，保护高真空阀不在大气压下开阀，防止破坏高真空阀的传动机构，又不使大气进入真空泵，防止油被氧化。
8.在罗茨泵的人口管道上，一般应安置一个真宅继电器，用来保护罗茨泵只在1.33×l03 Pa的压力下才能启动工作；若其压力超过此值时，则罗茨泵自动断电，停止工作。
9.在机械泵的入口管道上要设置一个截止阀和一个充气的阀。当机械泵停止工作时，截止阀立即关闭，放气阀立即打开，向机械泵通人大气。这里的截止阀、放气阀和机械泵的电源连在一起并互相连锁。
10.测量真空度仪器的规管座，一般不设置在炉室壳体七，而设置在接真空系统出口管道上。安装在规管座上的规管应上下直立，不得横放。
11.真空系统上各元件的连接要有互换性，即应选用标准尺寸的元件。
12.对于以油扩散泵和油增压泵为主泵的真率系统，在这两种主泵的出口管道上应设置维持真空泵，可以大最节能。
