微型真空泵主要参数有真空、真空度、负压、流量、抽气速率、电压、电流等。
现在微型泵选型中，如微型真空泵，微型气泵，微型气体采样泵，微型气体循环泵，微型抽气泵，微型吸气泵，微型打气泵，微型充气泵，微型高压气泵等选型中，有几个基本概念要弄清楚：
1.真空：
指在给定的空间内，压力低于101325Pa(100Kpa,即一个标准大气压)的气体状态。在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，压力值越小则表示气体越稀薄。例如，两个密闭容器，A容器内气体压力为50Kpa，B容器为30Kpa， B容器内气体肯定比A容器稀薄。
工业上有真空泵、气体采样泵、气体循环泵、抽气泵、抽气打气泵等多种微型泵，对于各种泵的性能都有规定的测试方法来检验，主要参数有：
2.真空度：
是衡量气体稀薄程度的物理量，常用单位是Kpa(千帕)。它是以“理论上存在的真空”为参照物，因为得出的压力值都比“理论上的真空”的压力值大，所以是正值。通常也叫“极限真空”、“绝对真空度”、“绝对压力”。
它是指将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。
3.负 压：
普通真空表测得的真空值。常用单位也是Kpa(千帕)。它是以“一个大气压”作为参照物，是指被测气体压力与大气压的差值。因为得出的压力值都比“一个大气压”的压力值小，所以是负值。通常也叫“表压”、“相对真空度” 、 “相对压力”。
示意图如下：
4.流量：(也叫抽气速率)
指在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体体积。 常用单位是：L/Min（升/分钟）。“流量”参数如无特别说明，特指在20℃、标准大气压下的“峰值流量”。
真空度指标是各国生产商努力追求的主要指标，它反应了相应的机械加工、密封技术、材料科学等领域的整体实力。要提高真空度指标，就必须有更高的密封条件，因此就需要采用尺寸更精确、材料性能更优异的零部件，于是生产成本就大幅度提高了。而且价格的增幅远远大于真空度指标的增幅。当然，抽气速率的提高也会引起价格的攀升，但其增幅不大。因此，选择微型真空泵、微型气体采样泵、微型气体循环泵、微型抽气泵、微型抽气打气泵等多种微型泵时，需要认真考虑真空度指标、抽气速率指标、自己的使用情况等(更多资料可参见“微型真空泵、微型气泵如何选型()，这样才能最好地兼顾使用性能和成本。
高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它对工作环境的清洁条件、温度参数、介质成分等均有更高的要求。例如有一种高真空度的国产微型真空泵VCH1028，它的真空度可以到10KPa(0.01MPa绝对压力)，可以大致理解成能将一个密闭容器内的气体抽走90%，只剩下10%，在微型真空泵里就算很高的了，即使跟国外同类型的微型真空泵比也相差无几。
5.电压
是指泵正常工作需要的供电方式，比如12V DC，就是指需要通过变压器、开关直流电源等将220V的交流电(AC)转换成12V直流(DC)，或者直接通过蓄电池一类的直流电源供电。
6.电流
指工作在额定电压下泵需要的电流，取决于泵的负载，负载越大，电流越大，但我们的微型真空泵都是低功耗的，除了个别型号外，一般都是以mA(毫安)计。