来自于镀膜工艺方面的技术难题 系统的本底压力在 10-7 mbar的范围 稳定的工艺压力在 10-3 mbar的范围 必须具有高氩气负载能力 大量热量的产生
来自于环境以及系统运行中的技术难题 必须保持高产量的客观事实 湿度及冷凝水 颗粒及混合物 系统整合控制需求 系统自我早期诊断需求 精确的转子设计 温度的监视及控制 内置保护装置 (喷吹/放气) 工业级的耐用性外壳设计 内置的早期自我诊断系统
