CI超高真空蝶阀
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CI超高真空蝶阀用于接通或切断真空管路中的气流。蝶门经过两次动作完成关闭或打开蝶门的过程,阀体的两面没有正反面安装方向,阀们的压强范围可拓宽到2x105-6.7x10-7Pa.适用介质为纯净空气或非腐蚀性气体。
主要技术性能