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超纯水设备中的超纯水（即高纯水）：既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ·cm，或接近18.3MΩ·cm极限值。一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤。
超纯水设备，又称高纯水设备，就是制取超纯水（高纯水）的水处理设备，通常作为反渗透设备后的二次除盐设备。
超纯水设备主要常见的超纯水工艺流程：
超纯水设备流程①：采用离子交换方式，其流程如下：源水→源水增压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
超纯水设备流程②：采用两级反渗透方式，其流程如下：源水→源水增压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透（反渗透膜表面带正电荷）→微孔过滤器→纯化水箱→用水点
超纯水设备流程③：采用混合离子交换方式，其流程如下：源水→源水增压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
超纯水流程④：采用EDI方式，其流程如下：源水→源水增压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
超纯水设备应用范围
超纯水设备制取电镀(镀金、镀银、镀络、塑料电镀、镀铬、镀锌等用水)、玻璃镀膜用高纯水；
超纯水设备制取超声波清洗、超音波清洗用纯水、化学镀、电泳用纯水；
超纯水设备制取汽车、家电、建材产品表面涂装、清洗纯水；
超纯水设备制取其它要求的表面处理用纯水
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