小流量气体质量流量控制器M3030V
气体质量流量控制器M3030V，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，无需温度压力补偿。气体质量流量控制器M3030V是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体流量的稳流装置，能在较宽的量程范围内快速而精确地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化，也不会影响其正常的工作。
小流量气体质量流量控制器M3030V产品亮点：
-类 型：MFC气体质量流量控制器
-控制范围：10sccm ～ 30slpm (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分)
-准度等级: ±1% F.S
-耐 压：≤90bar
-标准接口：0-5VDC，4-20mA可选
-响应时间：≤2sec
-使用范围：2~100% for max range
-供电电源：+15~+28Vdc, 350Ma
-漏 率：1×10-9atm·cc/sec
-气路连接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR
-适用介质：所有气体（含腐蚀性气体和有毒气体）
-无需温度、压力补偿
产品型号
M3030V
M3030A
流量范围 (N2)
10sccm ～ 30slpm
响应时间
≤2秒
准确度
≤±1% 满量程
重复精度
≤±0.25% 满量程
输出输入信号
0~5Vdc
0~5Vdc或4~20毫安
供电
+15~+28Vdc，350毫安
耐压
≤90 bar
工作环境温度
0~50 °C
应用领域： －分析仪器 －干刻（RIE/DRIE） －燃料电池 －生物技术 －气相色谱分析 －等离子刻蚀 －激光焊机 －混气配气系统 －微反应装置 －真空镀膜 －过程自动化 －石化工业
