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随着生产规模的扩大,氦气的使用量在逐渐递增,而直接排放的方式也不再适应于降本增效的生产要求,因此需要对氦气进行回收,现有回收方式主要通过在冷却管的下端吹氮气等形成气封层,以便阻止光纤带动氦气继续向下流动,将氦气集中到气封层的上方以便对其抽气回收,而为了保证对氦气全面的回收且减少氮气等形成气封层气体的浪费,通常需要调节控制氮气等形成气封层的流量大小及氦气回收的流量大小,而如何调节控制两个气体流量的大小成了目前急需解决的技术问题。
因此控制气体的流量与大小,在节能减排、控制成本方面也有重大意义。热式质量气体式流量计可以直接对质量流量检测,不需要温度和压力补偿,因此也正好符合使用热式质量气体式流量计来对氦气气体进行测量。
3HAC02530-1 SMB信号线
3HAC2493-1 SMB信号线
3HAC7998-1 编码器线
3HAC7998-2 编码器线
3HAC026787-001 动力线缆
DSQC1000 3HAC042766-001 控制单元
DSQC1018 3HAC050363-001 主计算机
DSQC431 3HAC036260-001 驱动器
DSQC663 3HAC029818-001 驱动器
DSQC664 3HAC030923-001 外部驱动
DSQC688 3HAC031670-001 总线适配器
DSQC679 3HAC028357-001 示教器